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微電子基板(bǎn)材料(liào)的(de)理想性能
日期:2016-12-15  人氣:187

  高密度微電子技術要求介質基(jī)板材料能夠與(yǔ)多種有源或無源元件更(gèng)好的匹配以獲得所(suǒ)設計的功能。關鍵的(de)物理性質之(zhī)一是熱膨脹(zhàng)係數(TCE).要求基質的TCE與相接觸(chù)元件的TCE盡可能接近。吸濕膨脹係數是另外一個關(guān)鍵的性質,要求越低越好,以避免相對濕度變化時產生內應力。同時,材(cái)料的電(diàn)性能必須確保信號不畸變、不損耗。一般來講,介質材料主要是支持和保護電(diàn)路的無源介質,而不是惰性的。

  另(lìng)外,基板材料必須能夠適應嚴格的生產工藝。要求材料在(zài)生產過程中(zhōng)不熔融或嚴重畸變,也不收縮,否則就會在多層電路結構中引起內應力(lì)或電路的錯誤再分布。優良的力學強度(dù)如高的模蹙和高的韌(rèn)性對於受力(lì)情況下防材料的畸變是非(fēi)常重要的。優良的抗扭曲性和流平性(xìng)可保證材(cái)料在組裝時不堵塞或對準失配.或保證易於進行半導體組裝(zhuāng)之(zhī)類的(de)進(jìn)一步加工。

  通常可用堿性溶液進行化學拋光,這是它(tā)的另一個優(yōu)點.化學拋光可(kě)除去最終電路所不需要的區域(yù).或為電或機械連接(jiē)提供(gòng)(用的孔或通孔)

  作為微電子介質基板材料還有很多其他(tā)的要求,這通常依賴於應用的(de)特殊要求(qiú)。例如,作為TAB的載帶,在(zài)堿性溶液中的刻蝕(shí)性是很重要的;但(dàn)作為撓性連接材料,M1T折疊性則成(chéng)為決定性的因素。

  作為介(jiè)質基板材料,必須與相鄰材料的粘接(jiē)性要好,不管它是有源還是無源元件。否則,在工藝過程(chéng)中易形(xíng)成氣孔而導(dǎo)致器件的力學和電學性(xìng)能的劣化。粘接性能在公開的(de)材料(liào)性能中常常被忽略,該性(xìng)質的重要性(xìng)與應用的目的有關,對於有些應用目的,它常(cháng)常成為決定(dìng)性的因素。

  由於聚酰亞胺薄膜在很(hěn)寬的溫度和濕度環境中具有優異的性能,包括熱穩定性、物理性能和介電性質等,因此在微電子技術(shù)領域中的應用越來越廣泛。薄膜介質材料的性(xìng)能隨著應用要(yào)求的不斷提高而(ér)不斷完善。


tags標簽: 聚酰亞胺薄膜
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